解決了高真空環境下光電感測器誤檢的問題

半導體產業

半導體製造設備製造商,其設計真空沉積設備用於製造光伏面板所需的半導體。
基板感測部件設計部門的一位代表向我們諮詢了真空環境下玻璃基板的「定位」問題。

客戶問題

「光電感測器」已被用於檢測真空腔內玻璃基板的存在,然而,由於蒸發過程中觀察口起霧,導致出現了許多誤檢。
此外,還有一個問題;觀察窗本身的加工成本很高。

客戶諮詢了多家主要感測器製造商,並嘗試使用高性能光電感測器,但是使用該感測器無法防止誤檢。

參觀我們在「真空展覽會」模具技術展位後,客戶對我們的開關產生了興趣,並與我們聯繫。

這些問題的主要焦點

在真空環境下定位玻璃基板。

蒸發過程中觀察窗起霧會導致光電感測器出現誤檢。

觀察窗的加工工藝十分精良。

Metrol的建議

由於傳統的「光電感測器」是透過發射光的反射來檢測工件,因此容易受到霧氣、水滴和漫反射等外部條件的影響,從而經常導致誤檢。

大多數工程師認為「感測器在真空環境下毫無用處」。

Metrol 的「高真空級相容開關」是一種機械精密定位開關,僅採用低逸氣相容零件製造,不包含任何電子基板。
此開關可相容於高達 10^-5 Pa 的高真空等級,即使在高真空環境下也能可靠地檢測玻璃基板。

我們將開關接觸力定制為 0.5 N 或更小,並將尖端材料定制為特殊樹脂,因此不會有刮傷敏感玻璃基板的風險。

改進

在 10^-5 Pa 高真空環境下實現晶圓定位。

直接接觸晶圓不會產生誤檢。

這樣就不需要設置觀察窗,加工成本也大大降低。

Metrol 代表的評論

由於「光電感測器」和「光纖感測器」等光感測器的訊號點是不可見的,因此調整安裝工作花費了兩天多的時間。
由於 Metrol 接觸式「精密定位開關」的訊號點是可見的,因此在設計時可以在 CAD 上指定安裝位置。

在半導體產業,我們也有很多過去在真空設備(如濺鍍設備、有機電致發光蒸發設備、蝕刻機和晶圓載體等)中定位的經驗。

如果您在真空環境下定位或偵測目標存在方面遇到任何問題,請隨時聯絡 Metrol。

我們期待收到您提供的樣品以供評估。

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