高真空度等級對應型感應器［GN系列］
10-5Pa!
對應高真空度等級!!
全部使用低放氣零件製造，為高真空環境專用的定位感應器。
大型半導體製造商相繼選購該產品，用於真空蒸鍍，濺鍍裝置中晶圓或光罩的定位作業。
機型一覽
| 代表型號 | 輸出 | 信號線方向 | 下載 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| GN-PT5M3A | A：NO | 直向 | 產品型錄 （PDF） |
2D CAD |
||
| GN-PT5M3B | B：NC | |||||
| GN-PT5M3A-R | A：NO | 直角 | ||||
| GN-PT5M3B-R | B：NC | |||||
主要規格
| 接點構造 | 接點型 |
|---|---|
| 輸出 | B：NC |
| 動作點的重覆精度 | ON⇄OFF皆為 0.003mm（範圍）常溫使用時的數值 |
| 對應真空度/烘烤容許溫度 | 10-5Pa／120℃ |
| 預行程 | 無（請在訊號的切換點上調整感應器的安裝位置。） |
| 遲滯 | 0 |
| 機械壽命 | 300萬次 |
| 行程 | 1.5mm |
| 接觸力 | 0.5N |
| 接點額定值 | DC5V～DC24V 固定電流10mA以下 （突波電流20mA以下） |
應用
真空爐
偵測有無半導體晶圓
真空製膜設備
玻璃基板的定位
太陽能發電（PV）真空設備
玻璃基板的定位
FPD用真空製膜設備
玻璃基板的配向
FPD用真空製膜設備
光罩就位偵測
FPD用真空製膜設備
載具的原點定位
諮詢表格