高真空電阻開關

GN系列

觸摸開關不會釋放氣體,這在真空環境(例如真空室)中可能是一個問題。

GN系列產品僅採用不產生氣體的組件製造,可在高達10⁻⁵ Pa(帕斯卡壓力有線型)的高真空環境中使用。產品在無塵室中生產,以嚴格控制污染。
眾多應用領域包括半導體生產線。

  • 日本製造
  • 長期賣出
  • 客戶減少
  • 超緊湊型
  • 高真空耐受性/
    低排放氣體
  • 耐熱規格

為什麼選擇我們

低逸出氣體的觸控開關,與高真空級相容

低逸出氣體的觸控開關,與高真空級相容

它完全由不會產生氣體釋放的組件製成,可在高達 10-5Pa 的高真空環境中使用。
本產品已被多家主要半導體設備製造商應用於真空蒸發和濺鍍設備中晶圓和遮罩的定位。
最高溫度120℃
– 不使用油脂。

用於真空環境的低成本感測器

用於真空環境的低成本感測器

真空相容型光纖感測器和位移感測器的有線型超過 2000 美元,包括放大器和連接器。
GN系列產品價格低廉,可協助您降低成本。

豐富的產品線可滿足各種運作條件

豐富的產品線可滿足各種運作條件

有多種產品系列可供選擇,以滿足各種應用條件,例如直觸式、直角定向電纜式和球形接觸型式等。

依運轉環境定製材質

依運轉環境定製材質

每個客戶的吸塵環境都不一樣。
感測器本體和電纜材料可根據您的環境進行客製化。
圖片顯示的是磷青銅的規格。

污染因應措施

污染因應措施

GN系列產品在專用於此系列產品的無塵室中生產,該無塵室與常規生產線分開,以確保嚴格的污染預防。

根據應用程式的不同,可提供以下自訂選項。

根據應用程式的不同,可提供以下自訂選項。

–電纜長度

根據使用環境的不同,我們可以客製化接觸探針、外殼、電纜等零件的材料。

什麼是真空環境下不釋放氣體的「定位開關」?

產品線

適用於斜角觸控式測量(球觸型式)

PN 輸出模式 重複精度 外 行程 IP 代碼/防護結構 引領 價格 下載
GN-BP161B GN-BP161B B:NC 10微米 M16×1 2.9毫米 IP40 沒有 購買
AutomationDirect
GN-BP5MA GN-BP5MA A:否 10微米 M5×0.5 0.8毫米 IP40 沒有 購買
AutomationDirect
GN-BP5MA-R GN-BP5MA-R A:否 10微米 M5×0.5 0.8毫米 IP40 沒有 購買
AutomationDirect

適用於直接觸控應用

PN 輸出模式 重複精度 外 行程 IP 代碼/防護結構 引領 價格 下載
GN-CSK141B GN-CSK141B B:NC 10微米 M14×0.5 5毫米 IP40 沒有 購買
AutomationDirect
GN-PT5M3A GN-PT5M3A A:否 3微米 M5×0.5 1.5毫米 IP40 沒有 在 VONA 購買 購買
AutomationDirect
GN-PT5M3A-R GN-PT5M3A-R A:否 3微米 M5×0.5 1.5毫米 IP40 沒有 在 VONA 購買
GN-PT5M3B GN-PT5M3B B:NC 3微米 M5×0.5 1.5毫米 IP40 沒有 在 VONA 購買 購買
AutomationDirect
GN-PT5M3B-R GN-PT5M3B-R B:NC 3微米 M5×0.5 1.5毫米 IP40 沒有 在 VONA 購買

主要規格

重複精度 3μm / 10μm(範圍)
接觸力 0.5N - 1.5N
外徑 5-16毫米
總長度 18-47毫米
如何觸摸物體 正面觸摸/斜角觸摸/滑動觸摸
行程 1.0毫米 - 5毫米
防護結構 IP40
允許的烘焙溫度 120℃
開關結構 乾接點
輸出模式 A:否/B:不適用
預行程 0 - 0.3毫米
動作差 0
壽命 300萬
* 使用壽命是我們評估測試得出的數值。請注意,實際使用壽命會因使用環境而異。
接觸資料 A(NO):PEEK / B(NC):SUS HRC45
本體材質 SUS304
電纜 聚四氟乙烯芯線,0.5公尺(×2),耐油,直徑0.66英寸,抗拉強度15牛頓,相當於
溫度漂移 0(因為沒有擴大機)
振盪 頻率範圍:10-55Hz,X、Y、Z方向總振幅均為1.5。
衝擊 X、Y、Z 三個方向均為 300 微米
接點額定值 DC5V - DC24V穩態電流:10mA 或更小(突波電流:20mA 或更小)
標準附件 固定螺帽 2 個
可對應之真空度 10 - 5帕
允許的烘焙溫度 120 ℃
筆記: 不建議操作速度低於 10 毫米/分鐘。
歐盟符合性聲明 歐盟符合性聲明

應用案例範例:

光電真空設備

光電真空設備

光電真空設備
玻璃基板定位

用於平面顯示器的真空沉積系統

用於平面顯示器的真空沉積系統

掩膜 (Mask)托盤就位檢測

真空室

真空室

半導體晶圓存在/缺失檢測

用於平面顯示器的真空沉積系統

用於平面顯示器的真空沉積系統

玻璃基板對準

用於平面顯示器的真空沉積系統

用於平面顯示器的真空沉積系統

始發承運人

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