以非接觸方式穩定檢測電池薄膜的微米級厚度
蓄電池業界
此例為製造電動汽車的蓄電池的大型半導體製造商。
品質管理部門的負責人諮詢有關用在蓄電池薄膜的「厚度檢測」。
客戶遇到的問題
檢測厚度為50µm的電池薄膜時，使用「微壓計」，以手工方式檢測。但是不同的作業人員，
測量的壓力也不同，所以測量結果不穩定，他們為此而感到非常困擾。
他們曾嘗試使用光學式的變位感應器測量膜厚，但因為薄膜表面為光澤質，無法得到穩定的測量結果。
此外，由於是以手工方式測量，測試一片需要花10分鐘以上的時間，會降低產能。
問題的關鍵
- 因此他們希望穩定檢測50µm的電池薄膜厚度
- 希望能縮短每片的檢測時間
美德龍的建議
傳統使用「微壓計」測量，但因為每個作業人員的測量壓力都大不同，
不適合用在要求高精度的微米電池薄膜的測量上。
美德龍「精密氣壓式感應器」，是搭載獨家開發的壓力迴路的非接觸式感應器。
在伺服驅動器上讀取高精度ON/OFF位置訊號，能以±0.5µm的重覆精度，穩定測量50µm的膜厚。
自動化的測量與作業員的手工方式測量相比，測量時間可以大幅縮短90％。
採用結果
- 以非接觸方式穩定檢測50µm的電池薄膜厚度
- 90％大幅縮短每片的測量時間
負責人的話
在半導體業界，除了這次介紹的應用實例以外，
也被採用在此前無法以光電感應器和鐳射感應器穩定檢測的微米級測量中，
例如「晶片厚度量測」和「鑄塊的外徑量測」等。
因「微壓計」無法達到精度而感到困擾的客人，敬請洽詢美德龍。
市場行銷部 負責人 